GB51034-2014多晶硅工廠設計規范.doc
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本規范共分12章和3個附錄，主要內容包括：總則，術語，基本規定，廠址選擇及廠區規劃，工藝設計，電氣及自動化，輔助設施，建筑結構，給水、排水和消防，采暖、通風與空氣調節，環境保護、安全和衛生，節能、余熱回收等。
1.0.1為規范多晶硅工廠的工程設計，提高工程設計質量，做到技術先進、經濟合理、安全可靠、環保節能，制定本規范。
1.0.2本規范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建、擴建和改建多晶硅工廠的工程設計，也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成、四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設計。
1.0.3多晶硅工廠設計應積極采用節能、環保、高效、先進的裝備和工藝，提髙資源、能源利用率，實現物料、能源綜合利用和清潔生產。
1.0.4多晶硅工廠設計除應符合本規范外，尚應符合國家現行有關標準的規定。
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